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离子渗氮炉是利用低真空辉光放电原理,使氮、氢离子轰击工件表面而升温,并使氮离子渗入工件表面的化学热处理设备。根据炉体的形状,离子渗氮炉可分为钟罩式炉、井式炉和卧式炉等。其中以前两种应用较多。
离子渗氮炉由炉体、真空系统、电源系统、供气系统、冷却系统、温度及真空度测量系统等部分组成。对于多炉体或组合生产线,还有电源切换系统或机械移动结构。多炉体设备是一套电源控制系统和两套炉体形成“一拖二”设备,在di一台炉内进行渗氮的时候,对第二台炉进行装炉;当di一台炉离子渗氮结束进行冷却时,将电源切换到第二台炉进行离子渗氮。这样两套炉体交替处理,轮流冷却,可以缩短生产周期。