高温真空炉主要分为立式和卧式两个系列，立式系列又分钟罩升降式与底部托盘升降式两种。卧式系列可分为单开门结构与前后双开门结构两种形式。炉体均采用冷夹层结构，外壁为碳钢，内壁为耐水蚀不锈钢。加热室的加热元件有钼丝、钼带、钼棒和石墨管等几种类型。